首條8英寸“超越摩爾”試線通線成功

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首條8英寸“超越摩爾”試線通線成功
中國(guó)，上海嘉定——2017年12月1日，致力于“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)發(fā)展的創(chuàng)新平臺(tái)上海微技術(shù)工業(yè)研究院（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“工研院”）運(yùn)營(yíng)的8英寸“超越摩爾” 研發(fā)中試線首款傳感器產(chǎn)品近日獲得驗(yàn)證通過(guò)，正式宣告研發(fā)中試線通線成功。

當(dāng)前以智能傳感終端、大數(shù)據(jù)、云計(jì)算、人工智能等為代表的信息技術(shù)正加速創(chuàng)新，萬(wàn)物互聯(lián)智能化時(shí)代正在到來(lái)。其中“超越摩爾”技術(shù)以傳感器為核心，結(jié)合射頻、功率、微能源等技術(shù)，是未來(lái)實(shí)現(xiàn)萬(wàn)物互聯(lián)的基礎(chǔ)。作為創(chuàng)新型功能平臺(tái)，工研院立足國(guó)內(nèi)集成電路研發(fā)和產(chǎn)業(yè)基地上海，8英寸研發(fā)中試線落戶(hù)嘉定，填補(bǔ)國(guó)內(nèi)這一領(lǐng)域的空白。

研發(fā)中試線著重開(kāi)展表面硅、體硅、3D微納加工工藝的開(kāi)發(fā)，并根據(jù)“超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)特點(diǎn)部署MEMS、硅光子、射頻、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相關(guān)工藝和量測(cè)設(shè)備，提供全方位的產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗(yàn)證等服務(wù)。

“這次的通線成功標(biāo)志著中國(guó)在MEMS及先進(jìn)傳感器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)入一個(gè)全新的快速發(fā)展的階段。未來(lái)研發(fā)中試線將持續(xù)發(fā)力，在新材料、新工藝、新器件、新系統(tǒng)重點(diǎn)技術(shù)領(lǐng)域開(kāi)展研發(fā)，進(jìn)一步推動(dòng)“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)鏈的完善和物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新應(yīng)用發(fā)展。”上海微技術(shù)工研院總裁楊瀟表示。

以全球領(lǐng)先的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線為支點(diǎn)，工研院將持續(xù)打造集研發(fā)、工程、市場(chǎng)、孵化的一體化功能平臺(tái)，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供全方位的服務(wù)和解決方案，建設(shè)具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心及“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)群。
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一、傳感器技術(shù)實(shí)驗(yàn)臺(tái),傳感器實(shí)訓(xùn)裝置,傳感器實(shí)訓(xùn)臺(tái)主要結(jié)構(gòu)
傳感器技術(shù)實(shí)驗(yàn)臺(tái),傳感器實(shí)訓(xùn)裝置,傳感器實(shí)訓(xùn)臺(tái)由主控臺(tái)、傳感器、實(shí)驗(yàn)?zāi)�塊、位移臺(tái)架、數(shù)據(jù)采集卡及處理軟件、實(shí)驗(yàn)臺(tái)桌六部分組成。
主控臺(tái)部分：提供高穩(wěn)定的±5V、±15V、±2V～±10V（可調(diào)）、±2V～±24V（連續(xù)可調(diào)）、直流穩(wěn)壓電源；二組溫度電源。主控臺(tái)面板裝有空氣開(kāi)關(guān)、電壓、頻率、轉(zhuǎn)速顯示表；溫度表，溫度控制儀微機(jī)電源。低頻信號(hào)系統(tǒng)源1Hz-30Hz（可調(diào)）；音頻信號(hào)源0.4KHz-10KHz；差動(dòng)放大器，氣壓表、儲(chǔ)氣箱；RS232計(jì)算機(jī)串行接口。
二、傳感器技術(shù)實(shí)驗(yàn)臺(tái),傳感器實(shí)訓(xùn)裝置,傳感器實(shí)訓(xùn)臺(tái)技術(shù)參數(shù)

三、傳感器技術(shù)指標(biāo)：

三、傳感器技術(shù)實(shí)驗(yàn)臺(tái),傳感器實(shí)訓(xùn)裝置,傳感器實(shí)訓(xùn)臺(tái)實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：
 

備注：帶㊣ 號(hào)實(shí)驗(yàn)為思考實(shí)驗(yàn)

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