首條8英寸“超越摩爾”試線通線成功
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首條8英寸“超越摩爾”試線通線成功
中國(guó),上海嘉定——2017年12月1日,致力于“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)發(fā)展的創(chuàng)新平臺(tái)上海微技術(shù)工業(yè)研究院(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“工研院”)運(yùn)營(yíng)的8英寸“超越摩爾” 研發(fā)中試線首款傳感器產(chǎn)品近日獲得驗(yàn)證通過(guò),正式宣告研發(fā)中試線通線成功。
當(dāng)前以智能傳感終端、大數(shù)據(jù)、云計(jì)算、人工智能等為代表的信息技術(shù)正加速創(chuàng)新,萬(wàn)物互聯(lián)智能化時(shí)代正在到來(lái)。其中“超越摩爾”技術(shù)以傳感器為核心,結(jié)合射頻、功率、微能源等技術(shù),是未來(lái)實(shí)現(xiàn)萬(wàn)物互聯(lián)的基礎(chǔ)。作為創(chuàng)新型功能平臺(tái),工研院立足國(guó)內(nèi)集成電路研發(fā)和產(chǎn)業(yè)基地上海,8英寸研發(fā)中試線落戶(hù)嘉定,填補(bǔ)國(guó)內(nèi)這一領(lǐng)域的空白。
研發(fā)中試線著重開(kāi)展表面硅、體硅、3D微納加工工藝的開(kāi)發(fā),并根據(jù)“超越摩爾”產(chǎn)品和技術(shù)特點(diǎn)部署MEMS、硅光子、射頻、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相關(guān)工藝和量測(cè)設(shè)備,提供全方位的產(chǎn)品研發(fā)、小批量生產(chǎn)、技術(shù)培訓(xùn)、設(shè)備驗(yàn)證等服務(wù)。
“這次的通線成功標(biāo)志著中國(guó)在MEMS及先進(jìn)傳感器的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化進(jìn)入一個(gè)全新的快速發(fā)展的階段。未來(lái)研發(fā)中試線將持續(xù)發(fā)力,在新材料、新工藝、新器件、新系統(tǒng)重點(diǎn)技術(shù)領(lǐng)域開(kāi)展研發(fā),進(jìn)一步推動(dòng)“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)鏈的完善和物聯(lián)網(wǎng)創(chuàng)新應(yīng)用發(fā)展。”上海微技術(shù)工研院總裁楊瀟表示。
以全球領(lǐng)先的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線為支點(diǎn),工研院將持續(xù)打造集研發(fā)、工程、市場(chǎng)、孵化的一體化功能平臺(tái),為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供全方位的服務(wù)和解決方案,建設(shè)具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心及“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)群。
教學(xué)設(shè)備網(wǎng)推薦傳感器實(shí)訓(xùn)臺(tái):【配套出版的正式教材】ZRJCS-111C型檢測(cè)與轉(zhuǎn)換技術(shù)實(shí)驗(yàn)臺(tái)(配12種傳感器)
一、傳感器技術(shù)實(shí)驗(yàn)臺(tái),傳感器實(shí)訓(xùn)裝置,傳感器實(shí)訓(xùn)臺(tái)主要結(jié)構(gòu)
傳感器技術(shù)實(shí)驗(yàn)臺(tái),傳感器實(shí)訓(xùn)裝置,傳感器實(shí)訓(xùn)臺(tái)由主控臺(tái)、傳感器、實(shí)驗(yàn)?zāi)K、位移臺(tái)架、數(shù)據(jù)采集卡及處理軟件、實(shí)驗(yàn)臺(tái)桌六部分組成。
主控臺(tái)部分:提供高穩(wěn)定的±5V、±15V、±2V~±10V(可調(diào))、±2V~±24V(連續(xù)可調(diào))、直流穩(wěn)壓電源;二組溫度電源。主控臺(tái)面板裝有空氣開(kāi)關(guān)、電壓、頻率、轉(zhuǎn)速顯示表;溫度表,溫度控制儀微機(jī)電源。低頻信號(hào)系統(tǒng)源1Hz-30Hz(可調(diào));音頻信號(hào)源0.4KHz-10KHz;差動(dòng)放大器,氣壓表、儲(chǔ)氣箱;RS232計(jì)算機(jī)串行接口。
二、傳感器技術(shù)實(shí)驗(yàn)臺(tái),傳感器實(shí)訓(xùn)裝置,傳感器實(shí)訓(xùn)臺(tái)技術(shù)參數(shù)
輸入電源 | AC220V 50Hz | 非線性誤差 | ≤ 5% |
直流電源 | ± 5V ± 15V | 測(cè)量精度 | ≤ 1% |
穩(wěn)壓系數(shù) | ± 1% | 功 耗 | 100VA |
電壓紋波 | ≤ 10mV | 輸出電流 | 1A |
三、傳感器技術(shù)指標(biāo):
序號(hào) | 實(shí)驗(yàn)?zāi)K | 傳感器名稱(chēng) | 量 程 | 精 度 |
1 | 電阻霍爾式傳感器 | 電阻式傳感器 | ± 2mm | ±2% |
2 | 霍爾式傳感器 | ≥ 2mm | 0.1% | |
3 | 電容式傳感器 | 電容式傳感器 | ±3mm | ±2.5% |
4 | 電感式傳感器 | 電感式傳感器 | ± 3mm | ± 3% |
5 | 光電式傳感器 | 光電式傳感器 | 0-2500 轉(zhuǎn)/分 | |
6 | 渦流式傳感器 | 渦流式傳感器 | ≥ 3mm | |
7 | 溫度式傳感器 | 溫度式傳感器 | 0-80℃ | ± 2% |
8 | 磁電式傳感器 | 0.5V/m | ||
9 | 壓電式加速度傳感器 | 壓電式加速度傳感器 | 1-30Hz | |
10 | 光纖式傳感器 | 光纖式傳感器 | ≥ 1.5mm | |
11 | 壓力傳感器 | 壓力傳感器 | 0-30kpa | ± 2% |
12 | 超聲波傳感器 | 超聲波傳感器 | 20-60cm | 1cm |
三、傳感器技術(shù)實(shí)驗(yàn)臺(tái),傳感器實(shí)訓(xùn)裝置,傳感器實(shí)訓(xùn)臺(tái)實(shí)驗(yàn)內(nèi)容:
實(shí)驗(yàn)一:電阻式傳感器的單臂性能實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)三:電阻式傳感器的全橋性能實(shí)驗(yàn) ㊣實(shí)驗(yàn)五:電阻式傳感器的震動(dòng)實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)七:變面積式電容傳感器特性實(shí)驗(yàn) ㊣實(shí)驗(yàn)九:電容傳感器的震動(dòng)實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)十一:差動(dòng)變壓器的特性實(shí)驗(yàn) ㊣實(shí)驗(yàn)十三:差動(dòng)變壓器的震動(dòng)實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)十五:光電式傳感器的轉(zhuǎn)速測(cè)量實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)十七:接近式霍爾傳感器實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)十九:渦流傳感器的位移特性實(shí)驗(yàn) ㊣實(shí)驗(yàn)二十一:渦流式傳感器的震動(dòng)實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)二十三:溫度傳感器及溫度控制實(shí)驗(yàn)(AD590) 實(shí)驗(yàn)二十五:磁電式傳感器轉(zhuǎn)速測(cè)量實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)二十七:壓電加速度式傳感器的特性實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)二十九:光纖傳感器的振動(dòng)實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)三十一:壓阻式轉(zhuǎn)壓力傳感器的特性實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)三十三:超聲波傳感器的位移特性實(shí)驗(yàn) |
實(shí)驗(yàn)二:電阻式傳感器的半橋性能實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)四:?jiǎn)伪、半橋、全橋性能?shí)驗(yàn) ㊣實(shí)驗(yàn)六:電阻式傳感器的電子秤實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)八:差動(dòng)式電容傳感器特性實(shí)驗(yàn) ㊣實(shí)驗(yàn)十:電容傳感器的電子秤實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)十二:自感式差動(dòng)變壓器的特性實(shí)驗(yàn) ㊣實(shí)驗(yàn)十四:差動(dòng)變壓器的電子秤實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)十六:光電式傳感器的旋轉(zhuǎn)方向測(cè)量實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)十八:霍爾傳感器的轉(zhuǎn)速測(cè)量實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)二十:被測(cè)體材質(zhì)對(duì)渦流傳感器特性的影響實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)二十二:渦流式傳感器的轉(zhuǎn)速測(cè)量實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)二十四:磁電式傳感器的特性實(shí)驗(yàn) ㊣實(shí)驗(yàn)二十六:磁電式傳感器的應(yīng)用實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)二十八:光纖傳感器的位移特性實(shí)驗(yàn) 實(shí)驗(yàn)三十:光纖傳感器的轉(zhuǎn)速測(cè)量實(shí)驗(yàn) ㊣實(shí)驗(yàn)三十二:壓阻式傳感器的差壓測(cè)量 ㊣實(shí)驗(yàn)三十四:超聲波傳感器的應(yīng)用實(shí)驗(yàn) |
備注:帶㊣ 號(hào)實(shí)驗(yàn)為思考實(shí)驗(yàn)
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